一种基于三维光子晶体结构的发光光源的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11252795

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本发明属于半导体光电子器件制造领域,特别涉及一种基于三维光子晶体结构的发光光源。背景技术发光二极管(LED)是一种当在正向方向上被电偏置时以受激方式发光的半导体光源装置。根据材料的不同,LED可以发出近紫外、可见光和近红外光。以氮化镓为代表的第三代半导体,可以制成高效的LED,氮化镓及其合金的带隙覆盖了从红外到紫外的光谱范围。它具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好等性质和强的抗辐射能力,在光电子、高温大功率器件和高频微波器件应用方面有着广阔的前景。随着LED在光源领域的应用越来...
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