技术编号：12484315
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及微机电系统(MEMS)装置。更确切地说，本发明涉及通常不易受由同相运动造成的误差影响的MEMS惯性传感器。背景技术近年来，微机电系统(MEMS)技术已得到广泛普及，因为MEMS技术提供了形成极小的机械结构并使用常规的批量半导体加工技术将这些结构与电气装置在单个基板上集成的方式。MEMS的一个常见应用是传感器装置的设计和制造。MEMS传感器装置广泛用于例如汽车、惯性导引系统、家用电器、游戏装置、用于各种装置的保护系统以及许多其它工业、科学和工程系统等应用。具体而言，MEMS陀螺仪传...
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