移相器电路和MEMS陀螺仪的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12568450

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本公开涉及移相器电路或者移相器,以及涉及用于提供九十度(π/2)相位移动的相对应的方法。背景技术有多种应用要求在期望的频率值处的输入信号的九十度相位移动。例如,已知的是在MEMS(微机电系统)陀螺仪中,需要九十度相位移动来执行所谓的剩余正交误差的开环取消。在这种情况下,从在陀螺仪内生成的在给定输入频率fz处的正弦输入信号(所谓的“驱动器信号”)开始,将获得具有相对于输入信号的90°相位移动的输出信号。在已知的方法中,正交信号与微机械感测结构的驱动移动成比例,这与角速度感测信号不同,角速度感测信号...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。

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