技术编号:12591357
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路,适用于电子领域。背景技术从技术上来讲,陀螺仪是一个用来测量角速度的器件。早在18世纪,有雾的时候,人们就用旋转的器件在航海中导航。在19世纪初期发明了更传统的旋转陀螺仪,法国科学家莱昂·傅科在1852年创造了陀螺仪这个术语。在19世纪晚期和20世纪初期,陀螺仪专用于船上。大约在1916年,航空中开始使用陀螺仪。今天陀螺仪也仍然广范应用于航空中。整个20世纪,旋转陀螺仪有很大的改善。20世纪60年代,利用激光的光学陀螺仪首次产生,然后很快在航空...
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