技术编号:12621548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体清洗设备技术领域,更具体地,涉及一种立式多工位石英管清洗机及使用该清洗机清洗石英管的清洗方法。背景技术石英管配合使用在扩散炉中,常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散。在进行高温扩散工艺时,是将硅片连同硅片托架一起放入石英管中进行工艺。为了使扩散更稳定,PN结分布更均匀,必须保证石英管内压力稳定和气密性良好。通常,都是采用负压技术来检测石英管的气密性,只有当气密性符合要求时,方可进行工艺。石英管在长期的扩散工艺中会产生结垢,而扩散工艺对石英管洁净度的要求非常严格,不允许石英管的管壁...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。