技术编号：12925648
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种麦克风芯片，属于声电转换领域；更准确地说，涉及一种电容式的麦克风芯片。背景技术MEMS(微型机电系统)麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，其中的振膜、背极板是MEMS麦克风中的重要部件，振膜、背极板构成了电容器并集成在硅晶片上，实现声电的转换。由于MEMS麦克风芯片的体积非常小，其振膜、背极板之间的距离通常在1μm左右；而且为了提高振膜的灵敏度，通常会在背极板上设置通孔，以均衡背极与振膜之间的气压。这种结构的麦克风在使用的时候，会有灰尘通过通孔进入到振膜、背极板之间。当该麦克...
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