技术编号:13108444
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种刻蚀机。背景技术现有的刻蚀机,都是只有一条气路,效率低下,且时间长了之后,会沾染灰层,影响刻蚀效果。发明内容本实用新型的目的在于:提供一种效率高,且能清洗气路方便的刻蚀机。本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种刻蚀机,包括机体及真空室,所述机体内有六条气管连通至真空室,其中两条气管连通至高压气泵,另外四条气管连通至真空泵;所述气管上均设有电磁阀,连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。进一步的,所述气管为合金气管。与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新...
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