用于引发组件的两个片材之间脱粘结的方法和设备与流程技术资料下载

技术编号:13426204

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用于引发组件的两个片材之间脱粘结的方法和设备背景技术相关申请的交叉参考本申请根据35U.S.C.§119,要求2015年03月04日提交的美国临时申请系列第62/128396号的优先权,本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。发明领域本发明涉及用于引发片组件的两块片材之间脱粘结(即,分离)的方法和设备,具体地,涉及用于引发薄片与载体之间的脱粘结的方法和设备。技术背景为了在设计用于较厚玻璃(大于或等于约400微米)的现有消费者电子加工中对超薄玻璃(即,厚度小于或等于300微米的玻璃)进行加工...
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