技术编号：13426366
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有修改和改善的真空致动阀组件的储存和递送系统，以防止流体从容器诸如加压气缸或箱排放，并且在施加预定真空条件时分配存在于阀组件下游侧上的流体。背景技术工业加工和制造应用需要使用高毒性流体。半导体材料的制造代表了一种此类应用，其中高毒性氢化物或卤化物气体及其混合物的安全储存和处理变得必要。此类气体的例子包括硅烷、锗烷、氨气、磷烷、砷烷、三氟化硼、锑化氢、硫化氢、硒化氢、碲化氢、三氟化磷、五氟化砷，以及其他卤化物或氢化物化合物及其气体混合物。由于对毒性和安全的考虑，在工业加工设备中必须谨慎...
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