技术编号：13426367
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于使纯净气室的开口、尤其闸门打开和闭合的转换阀，其中，开口在闭合位置中通过转换阀的闭锁元件封闭且在打开的位置中被释放。背景技术在生产以及研究开发中的许多制造工艺和工序不能在普通的环境条件下进行，而是需要特殊的气氛。这种制造工艺可能是例如在半导体制造中的镀层过程、在LCD或OLED制造中的封装步骤或例如在医学和制药技术中的高纯度原材料制造工艺。这些工艺例如会要求净化室条件、低湿度、惰性气氛或不同的这种条件和其他条件的组合。已知在封闭的空间中进行这些制造工艺或工序，在该封闭的空间中根...
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