光辐射设备和用于测量光辐射的方法与流程技术资料下载

技术编号:13426384

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光辐射设备和用于测量光辐射的方法本发明涉及一种光辐射测量设备,其带有样本区域、用于对能够定位在样本区域中的样本进行照射的照明单元和用于利用辐射探测器探测由样本发出的辐射的探测单元。此外,本发明还涉及一种利用所述辐射测量设备测量样本的光辐射的方法。根据现有技术得到的辐射测量设备通常要么作为发射光谱仪要么作为发射式电子显微镜使用。在已知的发射光谱仪中通常使用宽波段或者说宽(频)带的光源用于对样本进行辐射,其中,光源的辐射光谱与样本的至少一个吸收波段重叠。通过光的吸收,在样本中激发了相对于吸收波长光谱...
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