技术编号：13426389
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于检查及量测的方法和设备相关申请的交叉引用本申请要求于2015年5月4递交的欧洲申请15166233.5的优先权，并且其通过引用全文并入本文。技术领域本说明书涉及一种用以控制两个物体之间的距离的方法和设备。背景技术光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(ICs)的制造中。在这种情况下，可以将可选地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成待形成在所述IC的单层上的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一...
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