技术编号：13426402
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光瞳分面反射镜相关申请的交叉引用通过引用将德国专利申请DE102015209175.9的内容并入本文。技术领域本发明涉及投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。本发明还涉及确定光瞳分面反射镜的设计的方法。此外，本发明涉及用于具有对应光瞳分面反射镜的投射曝光设备的照明光学单元、涉及具有这种照明光学单元的照明系统和光学系统，以及涉及具有对应照明光学单元的投射曝光设备。最后，本发明涉及制造微结构或纳米结构部件的方法以及涉及根据该方法所制造的部件。背景技术具有分面反射镜的照明光学单元已揭露于例如US...
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