技术编号：13426451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及负载锁定腔室、具有负载锁定腔室的真空处理系统和用于抽空负载锁定腔室的方法。本发明的实施方式尤其涉及具有真空抽吸出口的负载锁定腔室、用于处理基板的真空处理系统和用于将负载锁定腔室抽空至真空的方法。背景技术通常例如在5*10-4hPa至0.5hPa的范围内的压力下、在高度真空条件下在真空处理系统或真空涂覆设备中涂覆基板。为了增加设备的生产量和避免不得不为每个基板而抽空整个设施且尤其是高度真空区段的情况，将负载锁定装置和卸载锁定装置(或者入口腔室和出口腔室)用于基板。为了提高材料通...
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