技术编号：13426452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于托持、定位和/或移动物体的装置，所述物体具体来说是基板。背景技术对于用于生产半导体部件的基板处理，例如，对于显示器应用，相对较大面积的基板必须经历各种表面处理工艺。例如，必须受到机械或化学地处理，例如，以在所涉及的基板上形成涂层或表面结构。必须在清洁室条件下或甚至在真空中执行任何表面处理工艺，特别是在必须执行诸如例如溅射、物理气相沉积或化学气相沉积之类的(也可能是等离子体辅助的)表面处理步骤时。由于有时必须在基板上形成微米或甚至纳米级的结构，需要在基板平面中、和正交于基板平面极...
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