技术编号：13426476
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有波限制结构的板波装置和制造方法相关申请声明本申请要求2014年12月17日提交的美国临时专利申请号62/093,184和2014年12月18日提交的美国临时专利申请号62/093,753的优先权。前述申请的全部内容据此以引用的方式并入本文如同全文展现。技术领域本公开涉及利用压电层中的声波传播的机电部件，并且特别地涉及改进的板波结构和制造这种结构的方法。例如，可以在射频传输电路、传感器系统、信号处理系统等中使用这种结构。背景技术微机电系统(MEMS)装置具有多种类型并且在广泛的应用内利用。可以...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。