技术编号:13453308
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种研磨装置,特别是一种厚度可调整的大尺寸游星轮。背景技术现有的9B型双面抛光机,其游星轮上的加工位数量较多,加工位的面积较小,最大加工范围为200mm,无法加工较大面积的工件,而且在加工过程中必须保证光学器件的均匀打磨,在使用9B型双面抛光机加工大面积的工件时(加工方法请见本申请人之前提交的“大基片游星轮”申请),由于部分大面积的工件为非标件,其厚度不等,因此很难通过一种游星轮满足不同的厚度研磨要求。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种厚度可调整的大尺寸游星轮,通过该游星轮可以...
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