技术编号：13622611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微通道加工领域，特别是涉及一种三维异形微通道加工装置及方法。
背景技术
微通道技术广泛应用于生物、医疗、化学及微流体系统等领域，在细胞培养、药物筛选、基因检测以及化学实验等方面的应用日渐成熟。
如何能够快速精确有效加工出特征尺寸极小的三维异形微通道，在微通 道技术中具有非常实际的意义，现有技术中，光刻和金属辅助化学刻蚀是微 通道最主要的制造方法。所谓光刻，即首先要在基片表面覆盖一层薄膜，然 后在薄膜表面用甩胶机均匀地覆盖上一层光胶，将掩膜上芯片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。