技术编号：13628539
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械器件，更具体地，涉及一种如独立权利要求1的前序部分所限定的仅包括均质器件晶片材料的微机械器件层。
背景技术
微机电系统(MEMS)器件具有受集成微电子器件控制的移动元件，并且包括在其中已经制造了一些机械器件(例如，微型传感器和微型致动器)的微小硅芯片上的微型电路系统(micro-circuitry)。这些微型传感器和微型致动器构成微机电(MEMS)器件的功能元件。MEMS器件的物理尺寸可以从低于1微米到数毫米不等。
MEMS器件将所测量的...
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