技术编号：13628541
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背景技术
本公开涉及微机电系统(MEMS)，更具体地，本发明涉及微辐射热计封装件设计。
微机电系统(MEMS)由一个或更多个非常小规模的电气部件组成。例如，包括在MEMS中的MEMS器件的尺寸范围可以从例如约20微米(μm)至约1毫米(mm)。微辐射热计是一种包括具有温度依赖性电阻的热敏材料的MEMS器件类型。微辐射热计的一个特征是响应于接收的热能量或辐射...
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