技术编号：13628543
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统(MEMS)涉及极小器件的技术，例如由尺寸为1微米(或更小)到100微米量级的部件构成的器件。同样，MEMS器件能够从没有移动元件的相对简单的结构，变化到具有例如在集成微电子器件控制下的多个移动元件的极复杂系统。典型地，MEMS器件具有至少一个有某种机械功能的元件，无论该元件是否能够移动。MEMS器件被认为是第一级封装的管芯级部件，并且包括压力传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风、数字镜面显示器、微流体器件等。可以被定义为换能器的MEMS传感器和致动器是将一种形式的能量转换成另一种形...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。