技术编号：13643532
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械结构，可广泛应用于跳跃机器人、对药物和疫苗的无针输送、研究在微观尺度上的断裂以及设计一种自毁传感器。
背景技术
微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS），是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。MEMS相对宏观机电装置而言，其优势在于尺寸微小，厚度一般不超过1cm。另外，MEMS器件可用与集成电路相兼容的工艺进行大批量、低成本生产，因...
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