技术编号：13671582
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种声学器件。特别地，涉及一种具有减少的非期望声波的传播的集成声学换能器。
背景技术
使用半导体技术制造的集成声学换能器是已知的并且根据电容原理操作。在一些应用中，这些换能器被用来换能超声波。在这种情况下，无论是电容型(CMUT-电容微机械超声换能器)还是压电型 (PMUT-压电的微机械超声换能器)，它们被称为MUT(微机械超声换能器)。例如，CMUT被使用在超声图像生成系统中用于医疗诊断。
该类型的换能器元件的示例在图1中被示出。
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