技术编号:13671681
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光电等离子清洗技术领域,尤其涉及一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体。
背景技术
目前,业界常见的真空等离子清洗机采用的电极为多层,水平式,两层相邻电极之间没有任何放电监测手段,这种结构的电极在处理类似于手机摄像模组(CCM)、电路板(PCB/FPC)、IC载板(IC substrate)等其它产品时,如不能及时发现放电状态是否正常,则会导致无效处理产品的产生,无法保证产品处理效果的一致性,增加不良率。
实用新型内容
针对现...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。