技术编号：13673675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于微机械电子(MEMS)数字式加速度计技术领域，具体涉及一种曲线高过载谐振式微加速度计芯片。背景技术目前的谐振式加速度计多基于纯硅材料或者石英材料。硅材料具有良好的机械特性，能够保证产品的精度、较低的成本及批量化生产，但对于采用硅材料的谐振式加速度计，其激励和检测方式比较固定，且硅本身没有压电特性，需要借助于静电力、热膨胀力、沉积其他压电材料、电磁力等手段激励谐振器振动，容易引入噪音干扰，限制精度的进一步提高。石英晶体具有压电特性，通过合理的切型设计和电极布置能够很容易被激励电路...
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