技术编号：13676039
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及集成电路领域，更具体地涉及传感器装置及其制造方法。背景技术随着柔性电子学的发展，柔性传感器技术已逐渐成为一项令人瞩目的高新智能交互技术，并且广泛应用于结构健康监测系统、智能仿生系统、以及医学监测中。柔性传感器技术对实现柔性接触界面、曲面和不规则形状接触界面之间的接触交互作用力的感测，以及动态分布信息的感测具有至关重要的作用。基于此技术的柔性传感器阵列是测量多种柔性接触界面及超窄间隙接触界面之间的分布信息的理想器件，表现出了极大的应用前景。然而，柔性传感器阵列的传统分布式测量网络...
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