技术编号：13681159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体感测装置的制作方法，特别是涉及一种半导体气体感测装置的制作方法及以该方法制得的半导体气体感测装置。
背景技术
近年来，物连网产业快速兴起，气体感测装置结合穿戴装置的需求明显增加，为了能与穿戴装置相互整合，气体感测装置的微型化、低功耗与模组封装为目前发展的重点。一般而言，气体感测装置可通过使用标准CMOS-MEMS制程技术来达成元件微型化目的。
参阅图1，该气体感测装置主要是于一基板10上形成一反馈电路单元11(主要由驱动电路、信号读取电...
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