技术编号:13685043
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多频率的压电超声发生器及其制备方法,属于超声、微电子机械系统技术领域。
背景技术
超声波是一种频率高于20000 赫兹的声波,超声波因其频率下限大约等于人的听觉上限而得名。超声波具有聚束、定向及反射、透射等特性,因而通过超声波产生、传播及接收的过程从而完成一种超声技术。
近20多年来,随着MEMS技术的飞速发展,对MEMS悬臂梁结构进行深入的研究,使得MEMS技术应用于超声发生器成为可能。超声技术在生物医学、能量收集等领域中有着广泛的应...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。