技术编号:1372146
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种,尤其有关一种利用超临界流体从具有纳米孔洞的多孔性材料移除不纯物的方法。背景技术 如何有效且环保的达到组件表面洁净、新材料纯化以提升产品优良率及可靠度已成为各高科技产业未来制程需求急待克服的问题。过去清洗制程使用的清洁方法,包括使用具酸碱性、强氧化性溶液与有机溶剂等,虽然颇有成效且已行之有年,但也相对衍生负面问题,例如须使用大量纯水和化学试剂,如此不但极易导致产品与环境污染、清洗后仍须费时的加以干燥。然而,当组件具有深沟或高深宽比结构(hi...
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