具有背向反射隔离器的集成激光器的制作方法技术资料下载

技术编号:13985153

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背景技术领域本公开涉及用于光学地耦合光学信号的技术。更具体地,本公开涉及集成透镜的垂直激光器,其使用光栅耦合器将光学信号光学地耦合到光波导中,并且包括隔离器以减少或者消除背向反射。背景技术CMOS技术的进展正使得能够在单个芯片上实现具有超大规模集成的数十亿计的晶体管的集成电路。然而,由于热约束和其他物理限制,这种大规模集成电路的性能扩展可能与增加的时钟速率不相关联。代替地,聚集大量功能单元的并行体系结构正越来越多地被用来扩展集成电路的能力。随着越来越多的处理能力被集成到半导体芯片上,集成电路经常...
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