抗蚀剂剥离液的制作方法技术资料下载

技术编号:13985162

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种剥离液,其用于剥离在制造液晶、有机EL等显示设备、半导体时所使用的抗蚀剂,更详细而言,涉及即使为经硬烘焙的抗蚀剂膜也能够去除抗蚀剂,进而可以说对铝膜和铜膜实质上也不腐蚀的抗蚀剂剥离液。背景技术液晶、有机EL(Electro-Luminescence)等平板显示器(FPD)要求具有大屏幕。另一方面,作为笔记本PC、平板PC、智能手机用,要求小型高精细屏幕。作为大屏幕用,可使用利用了Cu布线或Cu/Mo层叠布线(以下简称为“Cu布线”。)的薄膜晶体管(TFT:Thin Film Tra...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服(仅向企业会员开放)
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学