技术编号:14185622
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及测量电学属性领域,尤其涉及一种利用液体导电层辅助测量的电学探针测量法。背景技术传统的微探针(microprobe)手段可用来将探针直接接触到样品表面,形成导通,来测量材料样品(例如晶圆)的电学属性,比如面电阻(sheet resistance),磁隧穿效应电阻(TMR),以及电压/电流关系曲线。为了能有效的测量电学属性,一个“良好”的电学接触是重要的一点。因此,探针末端多由高导电率的金属材料制成。针对样品接触层材料为低电导率,薄金属氧化物层以及离子注入层的样品,探针应该具备刺穿能力。以...
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