技术编号：14450430
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型专利涉及特种电源技术领域，具体是指一种基于SiC功率器件的全桥LLC谐振型等离子体电源。背景技术等离子体电源朝着高效、高功率密度(小型化)、高频高压等更高要求方向发展，主要通过功率器件的高频化以及降低功耗来实现。目前，国内外大功率等离子体电源因其工作的高压、大电流、强功率等特点，普遍采用Si基功率器件；然而，Si基功率器件的性能已接近由其材料特性所决定的理论极限，提高频率以及降低功耗的潜力已经极其有限。新一代SiC功率器件与Si功率器件相比，在开关性能方面有着显著的优势，具有禁带宽度高...
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