技术编号：14475551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微定位技术，特别是空间六自由度微工作台。背景技术随着科学技术的快速发展，对机械设备的要求不断提高，由于柔顺机构具有可降低成本、提高精度、容易小型化等优点，满足了人们的迫切需求。柔顺机构有较高的固有精度，广泛应用于精密工程、航空航天、仿生机械、生物医疗等各种科技前沿领域。由于直梁受力分析比较简单，因此在目前的柔顺机构中，大多采用直梁，但直梁几何参数较少且调整范围有限，导致其对性能指标调整能力有限。以现有的平面单自由度和多自由度微位移工作台为例，因为直梁几何参数较少，所以对于空间多...
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