半导体存储装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14478008

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本实施方式涉及一种半导体存储装置。背景技术已知一种将存储单元三维排列的NAND型闪速存储器。发明内容[发明所要解决的问题]本发明提供一种可缩小功能块尺寸的半导体存储装置。[解决问题的技术手段]本实施方式的半导体存储装置具备:行解码器,设置在半导体衬底上;及存储单元阵列,设置在行解码器的上方,且具备第1功能块。第1功能块具备:第1区域,沿着由第1方向及第2方向形成的第1平面扩展,且沿着第2方向具有第1宽度,所述第1方向是半导体衬底的面内方向,所述第2方向是所述面内方向且与第1方向不同;第2区域,沿...
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