用于具有侧面源极线和机械支撑的三维NAND非易失性存储器装置的方法和设备与流程技术资料下载

技术编号:14478010

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半导体存储器广泛用于各种电子装置中,诸如蜂窝电话、数字照相机、个人数字助理、医疗电子装置、移动计算装置和非移动计算装置。半导体存储器可以包括非易失性存储器或易失性存储器。即使当非易失性存储器未连接到电源(例如电池)时,非易失性存储器也允许信息被储存和保留。非易失性存储器的示例包含闪速存储器(例如,NAND型和NOR型闪速存储器)和电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)。电荷俘获材料可用于非易失性存储器装置中以储存表示数据状态的电荷。电荷俘获材料可垂直地布置在三维(3D)堆叠存储器结构中。3D存...
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