技术编号：14478395
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光掩膜技术领域，尤其涉及一种掩膜版及其制备方法、光刻方法。背景技术制作显示基板时，经常采用光掩模技术制作显示基板所包含的图案化膜层，这使得在制作显示基板时，需要使用大量的掩膜版实现光掩膜，使得显示基板的制作成本比较高。目前，常见的掩膜版使用石英基板作为基底，在石英基板上按照掩膜图案制作铬膜，从而形成掩膜版；但是这种掩膜版只能制作一种图案化的膜层，没有充分利用石英基板的空间，导致制作显示基板前，需要按照显示基板膜层的图案先完成每种图案对应的掩膜版的制作，才能开始显示基板制作，导致显示基板...
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