一种压阻式MEMS温度传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:14642179

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本实用新型涉及一种传感器,尤其涉及一种压阻式MEMS温度传感器及其制作方法。背景技术开关柜结构紧凑,空间环境复杂,存在高电压、高温度、强磁场及极强的电磁干扰环境,一般的温度传感器很难精确的测量到精确位置的温度。市面上已有的测温技术如红外测温技术,属于非接触式测温方式,基于黑体辐射定律的原理,任何高于绝对零度的物体都在发射出辐射能,物体温度通过红外辐射能量的大小及波长分布来表现。但是红外测温仪测温时需安装固定,并且受到开关柜内部复杂结构的影响只能得到部分位置的温度,通用性差;声表面波无线温度传感器...

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