技术编号：14645779
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及自动化监测、控制领域，尤其涉及一种电离式传感器的制造方法。背景技术传感器广泛应用于航天、航空、国防、科技和工农业生产、环境监控等各个领域中，根据监控对象、以及对监测自动化、智能化要求的不同，对作为监测信号转换基础器件的传感器提出了更高的要求，如用于室内环境控制的信号转换反馈节点的气体传感器，就存在气体浓度变化范围大，许多具有相似化学性质的不同气体混合物难于快速辨识等技术难点问题。目前，本领域专家通过引入纳米吸附材料和微纳加工技术以提高传感器器件的敏感度，但由于无法提高传感器的动态范围，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。