技术编号：14658278
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米压印技术领域，具体涉及一种调控金属互连线各向异性收缩率的方法。背景技术当今，微纳金属互连线在半导体集成电路、太阳能电池、主动矩阵显示器件、超材料微纳结构等领域具有广泛而重要的应用，互连线材料从铝基互连到目前常用的铜基互连，都在推动着相关技术产业快速发展。然而，伴随着集成电路特征线宽的进一步缩小，基于大马士革工艺技术实现的铜基互连技术已经难以满足现代集成电路产业的发展。因此，新一代互连技术也自然被提上了研究日程。在下一代互连材料中，Ag因为其52nm电子自由程的特点成为了金属互连线的...
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