技术编号：14663794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS(微机电系统)技术，更具体地，涉及MEMS结构、MEMS组件及其制造方法。背景技术MEMS(微机电系统)是采用光刻和蚀刻等工艺在半导体衬底上形成的微型系统。MEMS结构内部包括空腔、电极等微结构，已经衍生出多种类型的产品，包括加速度计、压力传感器、湿度传感器、指纹传感器、陀螺仪、麦克风、马达、微泵等。随着手机等移动终端的发展，指纹传感器获得了广泛的应用。指纹是指人的手指末端正面皮肤上凹凸不平的纹路，纹路有规律的排列形成不同的纹型。指纹识别指通过比较不同指纹的细节特征点来进行身份...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。