技术编号：14663797
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS芯片技术领域，特别是涉及一种MEMS晶圆芯片的分离方法。背景技术微机电系统(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)是一种集微电子技术和微加工技术于一体的系统，MEMS技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单元，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等诸多优点。MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，利用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力...
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