技术编号：14685218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种集成电路芯片制造设备，属于制造设备领域。背景技术芯片，又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分.现有技术公开了申请号为：02103514.8的一种集成电路芯片的制造方法，分别设置前端制程区及后端制程区两种制程的设备，再将半导体集成电路分开在两制程区的两基底上制作，之后再将两者接合，而完成一集成电路芯片制造，但是现有技术在对集成电路芯片进行制造时无法自动复位，从而使操作更为繁琐，增加了工作量。实用新型内容针对现有技术存在的不...
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