技术编号：14685486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于声表面波传感器的应用领域，具体为LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法。背景技术SAW(Surface Acoustic Wave，声表面波)温度传感器分为延迟型SAW温度传感器和谐振型SAW温度传感器。SAW谐振器只对某些特定频率的射频信号产生响应，其中包括瑞利波模式频率和体波模式频率。如果器件周围温度变化，SAW谐振器的瑞利波模式谐振频率和体波模式谐振频率便会随之改变，通过测试其瑞利波模式谐振频率或者体波模式谐振频率，根据温度与频率的关系，经过计算可以得到器件周围温度的...
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