热不敏感型平面光波导及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:14686250

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本发明涉及光波导器件领域,具体地说涉及一种热不敏感型平面光波导及其制备方法。背景技术光波导是引导光波在其中传播的介质装置,又称介质光波导。光波导有两大类:一类是集成光波导,包括平面(薄膜)介质光波导和条形介质光波导,它们通常都是光电集成器件(或系统)中的一部分,所以称为集成光波导;另一类是圆柱形光波导,通常称为光纤。光在光波导中的传输受温度等外界因素的影响较大,从而会影响利用光波导所制作的光电集成器件(或系统)的稳定性,所以现有的光电集成器件(或系统)一般都安装温度调节装置来稳定其使用状态下的温...
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