一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器的制作方法技术资料下载

技术编号:14686251

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本发明涉及集成光学技术领域,具体涉及一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器。背景技术硅基光子学是一门新兴的学科,它在实现片上超紧凑光子集成回路方面具有巨大的应用潜力,并在不断促进光互连、光计算、量子光子学及非线性光子学等领域的快速发展。其中在实现片上超紧凑光子集成回路方面,由于采用高折射率差的绝缘体上硅(Silicon-on-insulator,SOI)材料平台,使得片上偏振控制器成为一类必不可少的功能部件。目前,比较成熟的片上偏振控制器包括偏振分束器、旋转器和起偏器。如果不考虑偏振复用传输,起...
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