技术编号：14686296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在线检测CdS薄膜厚度方法及其装置，尤其是基于机器视觉色差法在线检测CdS薄膜厚度的系统及方法。背景技术CdS是II-VI族化合物半导体材料，是一种非常重要的光敏半导体材料，被广泛地应用于光电子学领域。尤其CdS多晶薄膜被用于异质结太阳电池中的窗口层，应用于CdTe\/CdS异质结太阳电池和铜铟镓硒(CIGS)太阳电池。在太阳电池工艺中，为了提高电池的转换效率，要求将窗口层CdS薄膜厚度控制在50-120nm，同时为了保障产品成品率，这使得CdS薄膜厚度的均匀性在工业生产中显得尤为...
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