用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14825108

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本发明属于微型机械电子系统技术领域,特别涉及一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置。背景技术由于MEMS微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点,使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多MEMS器件来说,其内部微结构的微小位移和微小变形是器件功能实现的基础,因此对这些微结构的振幅、固有频率、阻尼比等动态特性参数进行精确测试已经成为开发MEMS产品的重要内容。为了测试微结构的动态特性参数,首先需要使微结构产生振动,也就是需...

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