技术编号：14852866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种半导体器件及其形成方法。背景技术微机电系统(Micro-Electro Mechanical System，MEMS)是一种获取信息、处理信息和执行操作的集成器件。微机电系统中的传感器能够接受压力、位置、速度、加速度、磁场、温度或湿度等外部信息，并将所获得的外部信息转换成电信号，以便于在微机电系统中进行处理。温度传感器是一种重要的传感器。温度传感器能够将外界环境的温度信号转换成电信号。温度传感器包括感应层、热敏元件、电学连接层和电学信号处理器。所述温度传感器...
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