一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:14852868

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本发明涉及一种阶梯型微纳米尺度槽道模型,还涉及一种阶梯型微纳米尺度槽道模型的制备方法。背景技术在石油天然气开采、药物输送和生物研究领域,通常涉及到微纳米缝隙内的流动特性问题,如何模拟微纳米尺度孔隙内的流动特性对提高油气田开采效率和药物输送效率具有重要意义。目前利用为微机械电子(MEMS)加工方法可以制备微米级的槽道,但对于纳米级槽道由于受到刻蚀技术的限制,还只能采用电子束曝光的方法,该方法成本很高,槽道长度和面积不能太大,限制了微纳米槽道模型的应用范围。发明内容为了解决微纳米尺度槽道模型结构复杂...
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